沁源，因沁河之源而得名，古为冀州之域。

春秋为晋之地。

战国前期属韩后属赵。

秦属上党郡。

西汉置谷远县。

王莽时，改谷远为谷近县。

三国为魏之地。

晋废县，属上党郡。

北魏孝庄帝(元子攸)建义元年，(公年528年)始置沁源县，县治在今城南一里许。

同年，于沁源县置义宁郡，领团城,义宁,安泽,沁源等县。

北齐，北周时，沿用不改。

隋文帝(杨坚)开皇十六年(公元596年)治沁州，州治在沁源县城南。

同年，沁源北部始置绵上县，属西河郡。

隋炀帝(杨广)大业初，沁源属上党郡;隋恭帝(杨侑)义宁元年，仍复义宁郡。

唐高祖武德初，复沁州治。

同年，又在沁源西部，分设招远县，沁州，三年废，招远县仍归沁源县。

唐玄宗(李隆基)天宝元年(公年742年)改沁州为阳城郡。

领沁源,和川,绵上。

唐肃宗(李享)乾元初复称沁州，故治在沁源县。

北宋时属威胜军，宋太宗(赵炅即匡义，亦名光义)太平兴国二年(公元977年)威胜军在铜乱柳石围中，即今沁县城置沁州，从此，沁州便从沁源迁到沁县，沁源县仍属沁州。

金初沁源亦属沁州;金宣宗(完颜王旬)元光二年(公元1223年)始治谷州，谷州治在沁源。

元世祖(忽必烈)至元年间废谷州，属沁州。

明清时，仍属沁州，州治在今沁县城。

民国三年(即公元1914年)，沁源属冀宁道。

民国十九年(公元1930年)废道，属山西哪里有学泥工培训班,。

1942年10月，在朱鹤岭以北地分设绵上县，绵上县政府驻东村,赤石桥,水峪等地，1945年4月11日，沁源和绵上又合并为沁源县，县政府驻郭道镇。

太岳的岳北专署驻沁源城关。

1949年太行的长治专署和太岳的岳北专署，合并为长治专署后，沁源县政府，从郭道迁到城关。

1958年沁县和襄垣合并不久，又和沁源三县合并为沁州，县政府驻沁县城。

1959年，沁县,沁源,襄垣又按原地分为三县，沁源县政府从沁县迁回城关镇(现改名为沁河镇)。