明属石佛里。

清属广积里。

民国时属马渠镇。

1945年7月，陕甘宁边时设第三（石佛），辖庙渠，清水河，孙摘子，牛塬，文夏5个乡。

1949年8月，石佛所辖5个乡撤销，并入马渠。

1950年1月，开边（六），三岔（七）。

1953年1月马渠（十）。

1956年4月属马渠基点乡。

1958年3月设立黎明乡，庙渠乡。

1958年9月成立五星人民公社，辖开边,庙渠,黎明,马渠等6个乡。

1961年6月设立庙渠人民公社。

1965年1月属马渠人民公社。

1966年5月由马渠公社分出，称庙渠公社；1983年12月改称庙渠乡，2019年8月庙渠乡撤乡改镇。